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輝光離子氮化是利用輝光放電原理進行的。輝光放電是當氣體越過電暈放電區后，若減小外電路電阻，或提高全電路電壓，繼續增加放電功率，放電電流將不斷上升。同時輝光逐漸擴展到兩電極之間的整個放電空間，發光也越來越明亮。當電子能f提高，也就是增強電場的操作參數，則能使電暈放電過渡到輝光放電。
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