輝光離子氮化爐在工作過程中難免出現故障，那么，它的的常見故障原因是什么呢？分析如下。
      現象一：有電壓無電流
      故障點：爐體真空度是否達到起輝光的真空度；MC-B 控制器弧顯燈、故障燈是否亮；陰陽端到爐體是否接觸良好。
      現象二：出爐工件檢驗分歧格
      故障點：保溫時間不夠；保溫溫度不是理想的工藝溫度；工件溫度不均勻；氨氣純度不夠或壓力不夠；離子電源老化，頻率發生變化；真空泵抽氣速度達不到。
      現象三：頻繁出現故障指示燈亮，設備無法正常工作
      故障點：用示波器監測兩個IGBT的VGE信號是否一致（此時高壓盡對不答應接通）；爐內尚未起輝前（電壓500V以下）的故障，通常與電阻的損壞或主回路上所有連線和連接處接觸不良有關；輝光離子氮化爐內剛起輝或起輝后常出故障，有以下幾種可能性。
      1）IGBT的吸收回路的電容虛焊或失效、電阻的損壞；
      2）兩個IGBT電壓的偏差較大。